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    高效过滤器检漏测试操作程序
    来源:http://www.0355yu.com/  发布时间:2014-01-09 09:44:13  点击数:3603

    高效过滤器检漏测试操作程序

    1.0目的

    通过检测高效过滤器的泄漏量,发现高效过滤器及其安装的缺陷,如滤材中的小针孔,连接密封部位的缝隙等,以便及时采取补救措施。

    2.0范围

    适用于公司洁净室(区)的高效过滤器泄露的检查。

    3.0职责

    品管部检验员负责测试。

    4.0程序

    4.1测试方法:尘埃粒子计数扫描巡检法。

    4.2测试位置:对于10000级至300000级洁净度要求的洁净室。包括:层流工作台、层流罩,以及设备上的高效过滤器。必须在现场对以下部位进行扫描巡查。

    4.2.1过滤器的滤材。

    4.2.2滤材与其框架内部的连接。

    4.2.3过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑框架之间的连接。

    4.2.4支撑框架和墙壁或顶棚之间的连接。

    4.3检测仪器

    尘埃粒子计数器。

    4.4检测程序:

    4.4.1被检漏过滤器必须已测过风量,在设计风速的80~120%之间运行。

    4.4.2用尘埃粒子计数器采样头扫描过滤器的出风侧。采样头离过滤器距离约2~3cm,以5~20mm/s的速度移动,对被检过滤器整个断面、封头胶、和安装框架处进行扫描。

    4.4.3当周期为2min时,0.5μm粒子数≥20粒/L,表明泄漏量超标,需要修补或更换。

    4.4.4用环氧树脂胶堵漏或紧固螺栓后,再进行扫描巡检。

    4.5检测频度

    4.5.1在安装或更换高效过滤器时应进行检测。

    4.5.2正常使用情况下,每年至少检测一次。

    4.6被检过滤器要填写《高效过滤器检漏测试记录》。

    5.0附件

    《高效过滤器检漏测试记录》

    6.0修改历史

    修改日期

    修改人

    修改内容

    版本

    /

    /

    2013.7.4编制第一版本

    1.0

     

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